අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගෑස් කර්මාන්තය

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වායූන් භාවිතය 1950 ගණන්වල මුල් භාගය දක්වා 1950 ගණන්වල මුල් භාගයේ සිට 1960 ගණන්වල මුල් භාගයේ ය. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය අතරතුර, වායූන් ප්රධාන වශයෙන් භාවිතා කරනුයේ ඔවුන්ගේ සංශුද්ධතාවය සහ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය පිරිසිදු කිරීම හා ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ය. බහුලව භාවිතා වන වායූන් අතර නයිට්රජන් හා හයිඩ්රජන් ද වේ.

අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය දියුණු කිරීම සහ නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් දිගින් දිගටම වැඩිදියුණු වන විට, වායූන් සඳහා ඇති ඉල්ලුම වැඩි විය. 1970 දී අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන තාක්ෂණයේ වැඩිදුර සංවර්ධනය, එයාවීම සහ තුනී චිත්රපට තැන්පත් කිරීම හා තුනී චිත්රපට තැන්පත් කිරීම වැනි ප්රධාන ක්රියාවලීන්හි වායූන් ක්රමයෙන් ඉහළ ගොස් ඇති අතර, ෆ්ලෝරයිඩ් වායූන් (උදා: එස්එෆ් 6 බහුලව භාවිතා වේ. ඒකාබද්ධ පරිපථ සංවර්ධනය කිරීමත් සමඟ වායූන් සඳහා ඇති ඉල්ලුම තවදුරටත් වැඩිවීමක් හා ඔවුන් සඳහා ඇති ඉල්ලුම වැඩි වීම 1980 1980 දුටුවේය. හයිඩ්රජන් ඇනලිං සහ හයිඩ්රජන් වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම ඇතුළු නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී හයිඩ්රජන් බහුලව භාවිතා විය. 1990 සිට වර්තමානය දක්වා, අර්ධ සන්නායක උපාංග ප්රමාණය අඛණ්ඩව හැකිලී ඇති අතර නව ක්රියාදාමයන් හඳුන්වා දී ඇති බැවින් 1990 සිට වර්තමානය දක්වා ඉහළ නෛර වායු සහ විශේෂිත වායූන් සඳහා ඇති ඉල්ලුම ඉහළ ගොස් තිබේ. නිදසුනක් වශයෙන්, අන්ත පාරජම්බුල කිරණ (EUV) යෙදීම සඳහා අතිශයින්ම අතිශයින්ම සංශුද්ධතා වායූන් වැනි අතිශයින්ම විශාල වායූන් භාවිතා කිරීම අවශ්ය වේ.

වැඩිපුර වැඩිපුර සහ තවත් නිෂ්පාදන මගින් ඇති වන අදාළ නිෂ්පාදන සංවර්ධනය කිරීමත් සමඟ අර්ධ සන්නායක ගෑස් අඛණ්ඩව ඉහළ යන අතර, ගෑස් විසංයෝජනය, ගෑස් කපාට, ගෑස් කාන්දුවීම්, ගෑස් කාන්දුවීම් හඳුනා ගැනීම, සහ ඔවුන්ගේ භූමිකාවන් පහත පරිදි වේ.

පීඩන නියාමකයින්: පීඩන නියාමකයින් යනු ගෑස් පීඩනය පාලනය කිරීම සඳහා භාවිතා කරන උපාංග වේ. ඒවා සාමාන්යයෙන් නියාමක කපාටයක් සහ පීඩන සංවේදකයකින් සමන්විත වේ. පීඩන නියාමකයින්ට අධි පීඩන වායු ආදානයක් ඇති අතර නිශ්චිත යෙදුම් අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා කපාටය සකස් කිරීමෙන් ප්රතිදාන වායුවේ පීඩනය ස්ථාවර කරන්න. ගෑස් සැපයුමේ ස්ථායිතා සහ ආරක්ෂාව සහතික කිරීම සඳහා වන කර්මාන්ත, නිෂ්පාදන සහ රසායනාගාර මෙන්ම අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ද පීඩන නියාමකයින් බහුලව භාවිතා වේ.

ගෑස් කපාට: වායූන් ප්රවාහය පාලනය කිරීම සඳහා ගෑස් කපාට භාවිතා කරන අතර ගෑස් ඡේද වසා දැමීමට. ඔවුන්ට සාමාන්යයෙන් වායු ප්රවාහය විවෘත කිරීම හෝ වසා දැමීම හෝ වසා දැමීම සඳහා / අක්රිය ශ්රිතයක් ඇත. අතින් කපාට, විදුලි කපාට සහ වායාමය කපාට ඇතුළු විවිධ වර්ගයේ ගෑස් කපාට තිබේ. වායූන්ගේ ප්රවාහය, පීඩනය සහ ප්රවාහ අනුපාතය පාලනය කිරීම සඳහා ඒවා ගෑස් පද්ධතිවල බහුලව භාවිතා වේ.

ගෑස් පීඩන මිනුම්: වායුවක පීඩන මට්ටම මැනීම සඳහා ගෑස් පීඩන මිනුම් භාවිතා කරයි. ඒවා සාමාන්යයෙන් ස්ථාවර ස්ථානවල සවි කර ඇති අතර පීඩනය වෙනස් කිරීම අධීක්ෂණය කිරීම සහ ඒවා ආරක්ෂිත සීමාවන් තුළ ඇති බවට සහතික කිරීම සඳහා. කර්මාන්ත, නිෂ්පාදන හා රසායනාගාරවල සහ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ද ගෑස් පීඩන මිනුම් බහුලව භාවිතා වන අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ද ඊට සම්බන්ධ වී ඇත.

ගෑස් කාන්දුව අනාවරකයන්: ගෑස් පද්ධතිවල කාන්දුවීම් හඳුනා ගැනීම සඳහා ගෑස් කාන්දුව අනාවරණය කණ්ඩායම් භාවිතා කරනු ලැබේ. ඔවුන් හඳුනා ගනීකානජන අනතුරු වැළැක්වීම සඳහා කාලෝචිත ක්රියාමාර්ග ගැනීම සඳහා ගෑස් කාන්දුවීම් සහ අනතුරු ඇඟවීමක් ඇති බව ශබ්ද කරන්න. කාර්මික, රසායනික, තෙල් හා ගෑස් යෙදුම් සඳහා ගෑස් කාන්දුව අනාවරක බහුලව භාවිතා වන අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ද ඊට සම්බන්ධ වී තිබේ.