අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති නිෂ්පාදනය කිරීම

අර්ධ සන්නායක පිරිසැකසුම්කරණයේදී, වායූන් සියලු වැඩ කරන අතර ලේසර් සියලු අවධානය යොමු කරයි. ලේසර් ට්රයිස්ලෝටර් රටා සිලිකන් බවට කරන අතර, මුලින්ම සිලිකන් තැන්පත් කරන අතර සම්පූර්ණ පරිපථ සෑදීම සඳහා ලේසර් බිඳ දමයි. බහු-අදියර ක්රියාවලියක් තුළින් ක්ෂුද්ර ව්යුහකරුවන් සංවර්ධනය කිරීම සඳහා යොදා ගැනීම පුදුමයක් නොවේ. මෙම සීමාවට අමතරව, ඔවුන්ගෙන් බොහෝ දෙනෙකුට වෙනත් කරුණු සහ සීමාවන් තිබේ. සමහර වායූන් ක්රයෝජනික් ය, තවත් සමහරු විඛාදන වේ, තවත් සමහරු තවමත් විෂ සහිත ය.

සියල්ලට ම, මෙම සීමාවන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා නිෂ්පාදන ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති නිපදවයි. ද්රව්යමය පිරිවිතරයන් ඉල්ලා සිටී. ද්රව්යමය පිරිවිතරයන්ට අමතරව, ගෑස් බෙදා හැරීමේ අරාව යනු අන්තර් සම්බන්ධිත පද්ධතිවල සංකීර්ණ විද්යුත් යාන්ත්රික සමූහයකි. ඔවුන් එක්රැස් වූ පරිසරයන් සංකීර්ණ හා අතිච්ඡාදනය වේ. ස්ථාපන ක්රියාවලියේ කොටසක් ලෙස අවසාන ප්රබන්ධයක් අඩවියේ සිදු වේ. කක්ෂීය පෑස්සීම මඟින් ගෑස් බෙදා හැරීමේ අවශ්යතා සපුරාලීමට උපකාරී වේ. තද, අභියෝගාත්මක පරිසරයන් වඩාත් කළමනාකරණය කළ හැකිය.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය වායූන් භාවිතා කරන ආකාරය

වායු බෙදා හැරීමේ පද්ධතියක් නිෂ්පාදනය සැලසුම් කිරීමට උත්සාහ කිරීමට පෙර, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනවල මූලික කරුණු අවම වශයෙන් අවබෝධ කර ගැනීම අවශ්ය වේ. එහි හරය අනුව, අර්ධ සන්නායක වායූන් භාවිතා කරන්නේ ආසන්නයේ ඇති මූලද්රව්යයන් අධික පාලිත ආකාරයකින් මතුපිටක් මත තැන්පත් කිරීමයි. අතිරේක වායූන්, ලේසර්, රසායනික එතැන්ම සහ තාපය හඳුන්වා දීමෙන් මෙම තැන්පත් කළ ids න ද්රව්ය වෙනස් කරනු ලැබේ. පුළුල් ක්රියාවලියේ පියවර:

තැන්පත් කිරීම: ආරම්භක සිලිකන් වේෆරය නිර්මාණය කිරීමේ ක්රියාවලිය මෙයයි. සිලිකන් පූර්වගාමර් වායූන් රික්ත තැන්පත් කුටියක් තුළට පොම්ප කර රසායනික හෝ භෞතික අන්තර්ක්රියා හරහා සිහින් සිලිකන් වේෆර් සාදයි.

Photoithorography: ඡායාරූප අංශය ලේසර් වලට යොමු වේ. ඉහළ අගුලු දැමීමේ චිප්ස් නිපදවීමට භාවිතා කරන ඉහළ අන්ත පාරජම්බුල ලිතෝෆි (EUV) වර්ණාවලිය (EUV) ස්පෙක්ට්රම්, කාබන් ඩයොක්සයිඩ් ලේසර්, මයික්රොප්රොසෙසේටර් පරිපථයේ පරිපථයේ පරිපථයට එච්.

එච්ච්: එච්ච් ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් උපස්ථරයේ තෝරාගත් ද්රව්ය සක්රිය කිරීමට සහ විසුරුවා හැරීමට හැලජන්-කාබන් වායුව කුටියට පොම්ප කරන ලදී. මෙම ක්රියාවලිය effectively ලදායී ලෙස මුද්රණය කරන ලද පරිපථය උපස්ථරයට කැටි කරයි.

මාත්රණය: මෙය අර්ධ සන්නායකය විසින් පවත්වනු ලබන නිශ්චිත තත්වයන් තීරණය කිරීම සඳහා Etct මතුපිටේ සන්නායකතාවය වෙනස් කරන අතිරේක පියවරකි.

ඇනීම: මෙම ක්රියාවලියේදී, වේෆර් ස්ථර අතර ප්රතික්රියා උස් පීඩනය හා උෂ්ණත්වය මගින් අවුලුවන. අත්යවශ්යයෙන්ම, එය පෙර ක්රියාවලියේ ප්රති results ල සකස් කර - වේෆරයේ අවසාන සකසනය නිර්මාණය කරයි.

සභා ගර්භය සහ රේඛාව පිරිසිදු කිරීම: පෙර පියවරේදී භාවිතා කරන වායූන් බොහෝ විට අධික හා ප්රතික්රියාශීලී ය. එබැවින්, ක්රියාවලි කුටිය සහ ගෑස් රේඛා පෝෂණය කිරීම, හානිකර ප්රතික්රියා අවම කිරීම හෝ ඉවත් කිරීම සඳහා වායූන් උදාසීන කිරීම හෝ ඉවත් කිරීම, පසුව නිෂ්ක්රීය වායූන් බාහිර පරිසරයෙන් ආක්රමණය කිරීම වැළැක්වීම සඳහා නිෂ්ක්රීය වායූන් වලින් පිරවීම.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති බොහෝ විට සංකීර්ණ වන්නේ විවිධ වායූන් බොහෝ වාසය කිරීම සහ කාලයත් සමඟ නඩත්තු කළ යුතු වායු ප්රවාහ, උෂ්ණත්වය සහ පීඩනය පාලනය කිරීමෙනි. ක්රියාවලියේදී එක් එක් වායුව සඳහා අවශ්ය අතිශයින්ම ඉහළ පාරිශුද්ධ භාවය මගින් මෙය තවදුරටත් සංකීර්ණ වේ. පෙර පියවරේදී භාවිතා කරන ලද වායූන් පෙරමුණේ සහ කුටි වලින් පිටතට ගලා යා යුතුය. එසේ නොමැතිනම් ක්රියාවලියේ ඊළඟ පියවර ආරම්භ කිරීමට පෙර උදාසීන විය යුතුය. මෙයින් අදහස් කරන්නේ විශේෂ ගෑස් සැපයුම වැළැක්වීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති විශේෂිත නල පද්ධතිය සහ සො o යන් සහ මල් නල සහ සංවේදන හා සංවේදක අතර ඇති වූ අතුරුමුහුණත් සහ කලින් සඳහන් කළ සියලු සංරචක සහ අන්තර් සම්ප්රේෂකය සහ කලින් සඳහන් කළ සියලු සංරචක අතර අතුරුමුහුණත් විසිනි.

මීට අමතරව, පිරිසිදු කාමරවල බාහිර පරිසරවල සහ විශේෂ වායූන් පිරිසිදු කාමර පරිසරවලින් තොග වායු සැපයුම් පද්ධති සහ අහම්බෙන් කාන්දු වන විට කිසිදු උපද්රවයක් අවම කිරීම සඳහා විශේෂිත සීමිත ප්රදේශවලින් සමන්විත වේ. එවැනි සංකීර්ණ පරිසරයක් තුළ මෙම ගෑස් පද්ධති වෙල්ඩින් කිරීම පහසු කාර්යයක් නොවේ. කෙසේ වෙතත්, සැලකිල්ල, සවිස්තරාත්මකව අවධානය සහ නිවැරදි උපකරණ කෙරෙහි අවධානය යොමු කිරීම, මෙම කර්තව්යය සාර්ථකව ඉටු කළ හැකිය.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති නිෂ්පාදනය කිරීම

අර්ධ සන්නායක වායු බෙදා හැරීමේ පද්ධති වල භාවිතා වන ද්රව්ය ඉතා විචල්ය වේ. අධික විඛාදන වායූන් වලට එරෙහි වීමට PTFE-ලයිට් පයිප්ප සහ සො oses නළ වැනි දේවල් ඇතුළත් කළ හැකිය. පොදු අරමුණු සඳහා භාවිතා කරන වඩාත් පොදු ද්රව්ය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ පයිප්ප 316 ක් මල නොබැඳෙන වානේ - අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ ප්රභේදයක් වේ. 316l oungo oundius to 316 වන විට 316 එල් එකිනෙකට සමාන විඛාදනයට වඩා ප්රතිරෝධී වේ. කාබන් දූෂණය කළ හැකි ඉහළ ප්රතික්රියාශීලී හා අස්ථාවර වායු පරාසයක් සමඟ කටයුතු කිරීමේදී මෙය වැදගත් කරුණකි. වෙල්ඩින් 316l මල නොබැඳෙන වානේ අඩු කාබන් ප්රපාතයක් නිකුත් කරයි. එය ධාන්ය මායිම් ඛාදනය සඳහා විභවය ද අඩු වන අතර එමඟින් වෑල්ඩින් සහ තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාපවල විඛාදනයට එළඹීමට හේතු වේ.

නිෂ්පාදන රේඛීය විඛාදනයක් හා දූෂණය වීමට තුඩු දෙන විඛාදනයට තුඩු දෙන විඛාදන හා අපවිත්ර වීම සඳහා වන හැකියාව පිරිසිදු ආගන් පලිහ සහිත ගෑන් මල් පලිහ සහ ටංස්-සන්නායක කර්මාන්තයේ ප්රමිතියකි. ක්රියාවලි පයිප්පෙහි ඉහළ සංශුද්ධතා පරිසරයක් පවත්වා ගැනීමට පාලනය අවශ්ය එකම වෙල්ඩින් ක්රියාවලිය. ස්වයංක්රීය කක්ෂීය වෙල්ඩින් ලබා ගත හැක්කේ අර්ධ සන්නායක ගෑස් බෙදා හැරීමේදී පමණි