අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය පුරා අතිශය ඉහළ පාරිශුද්ධ වායූන් අත්යවශ්ය වේ. ඇත්ත වශයෙන්ම, සාමාන්ය ෆැබ් එකක් සඳහා, අධි-පාරිශුද්ධ වායූන් සිලිකන් වලින් පසුව විශාලතම ද්රව්යමය වියදම වේ. ගෝලීය චිපයේ හිඟයෙන් පසු කර්මාන්තය වෙන කවරදාටත් වඩා වේගයෙන් ව්යාප්ත වෙමින් පවතින අතර ඉහළ සංශුද්ධවීමේ වායූන් සඳහා ඇති ඉල්ලුම වැඩි වෙමින් පවතී.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වඩාත් බහුලව භාවිතා වන තොග වායූන් යනු නයිට්රජන්, හීලියම්, හයිඩ්රජන් සහ ආගන් ය.
Nඉට්රජන්
නයිට්රජන් අපේ වායුගෝලයේ 78% ක් වන අතර එය අතිශයින් බහුල ය. එය රසායනිකව නිෂ්ක්රීය හා සන්නායක නොවන බව ද සිදු වේ. එහි ප්රති As ලයක් ලෙස නයිට්රජන් කර්මාන්ත ගණනාවක් සඳහා ලාභදායී නිෂ්ක්රීය වායුවකට ගමන් කර ඇත.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය නයිට්රජන් විශාල පාරිභෝගිකයෙකි. නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හලක් පැයකට නයිට්රජන් මීටර් 50,000 ක් දක්වා භාවිතා කරනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ, නයිට්රජන් ක්රියා කරන්නේ වායුව සාමාන්ය අරමුණක් සහ පිරිසිදු කිරීමේ වායුවක් ලෙස ය. සංවේදී සිලිකන් වේෆර් ප්රතික්රියාශීලී ඔක්සිජන් සහ වාතයේ තෙතමනය ආරක්ෂා කිරීම.
හීලියම්
හීලියම් යනු නිෂ්ක්රීය වායුවකි. මෙයින් අදහස් කරන්නේ නයිට්රජන් වැනි, හීලියම් රසායනිකව නිෂ්ක්රීය බවයි - නමුත් එයට ඉහළ තාප සන්නායකතාවයකින් අමතර වාසිය ද ඇත. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ මෙය විශේෂයෙන් ප්රයෝජනවත් වන අතර, එය අධි ශක්ති ක්රියාදාමයන්ගෙන් තාපය කාර්යක්ෂමව හා තාප හානිවලින් හා අනවශ්ය රසායනික ප්රතික්රියා වලින් ආරක්ෂා වීමට උපකාරී වේ.
හයිඩ්රජන්
ඉලෙක්ට්රොනික් නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය පුරාම හයිඩ්රජන් පුළුල් ලෙස භාවිතා වන අතර අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයද ව්යතිරේකයක් නොවේ. විශේෂයෙන්, හයිඩ්රජන් සඳහා භාවිතා කරනු ලැබේ:
ඇනීම: සිලිකන් වෝෆර් සාමාන්යයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වයකට රත් කර ඇති අතර ස් stal ටික ව්යුහය අලුත්වැඩියා කිරීම සඳහා (ඇනනල්) අලුත්වැඩියා කිරීම සඳහා සෙමින් සිසිල් කරනු ලැබේ. හයිඩ්රජන් වේෆරයේ ඒකාකාරව තාපය මාරු කිරීම සහ ස් stal ටික ව්යුහය නැවත ගොඩනැඟීමට සහාය වීම සඳහා යොදා ගනී.
එපිටි: අල්ට්රා-අධි සංශුද්ධතා හයිඩ්රජන් සිලිකන් සහ ජර්මනියම් වැනි අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය පරිභෝජනය කිරීමේ නියෝජිතයෙකු ලෙස භාවිතා කරයි.
තැන්පත් කිරීම: හයිඩ්රජන් ඔවුන්ගේ පරමාණුක ව්යුහය වඩාත් අක්රමිකතා, ප්රතිරෝධකතාව වැඩි කිරීමට උපකාරී වන පරිදි සිලිකන් චිත්රපටවලට ඇලවිය හැකිය.
ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම: UV LINTHogafy හි භාවිතා වන සැහැල්ලු ප්රභවයන්ගෙන් ටින් දූෂණය ඉවත් කිරීමේදී හයිඩ්රජන් ප්ලාස්මා විශේෂයෙන් effective ලදායී වේ.
ආගන්
ආගන් යනු තවත් උච්ච වායුවකි, එබැවින් එය නයිට්රජන් හා හීලියම් ලෙස එකම අඩු ප්රතික්රියාකාරියක් ප්රදර්ශනය කරයි. කෙසේ වෙතත්, ආගන් හි අඩු අයනීකරණ ශක්තිය අර්ධ සන්නායක යෙදුම්වල එය ප්රයෝජනවත් වේ. එහි සාපේක්ෂ ලිහිල් පහසුව නිසා ආගන් බහුලව භාවිතා වන්නේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනවල එච්චෙන්ට් සහ තැන්පත් කිරීමේ ප්රතික්රියා සඳහා ප්රාථමික ප්ලාස්මා ගෑස් ලෙස ය. මෙයට අමතරව, පාරිසරික ලෙෂ්රොග්රැෆි සඳහා රක්තහීනම ලේසර් සඳහා ආගන් භාවිතා වේ.
පිරිසිදුකම වැදගත් වන්නේ ඇයි
සාමාන්යයෙන්, අර්ධ විද්යා තාක්ෂණික තාක්ෂණයේ අත්තිකාරම් ප්රමාණයේ පරිමාණයෙන් අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය අත්කර ගෙන ඇති අතර, නව පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය කුඩා විශේෂාංග ප්රමාණයන්ගෙන් සංලක්ෂිත වේ. මෙය බහු ප්රතිලාභ ලබා දෙයි: දී ඇති පරිමාවක, වැඩිදියුණු කළ ධාරාවන්, අඩු විදුලි පරිභෝජනය සහ වේගවත් මාරුවක් ඇති තවත් ට්රාන්සිස්ටර.
කෙසේ වෙතත්, තීරණාත්මක ප්රමාණය අඩු වන විට, අර්ධ සන්නායක උපාංග වඩ වඩාත් නවීන වේ. තනි පරමාණු වැදගත්කම, දෝෂ ඉවසීමේ සීමාවන් ඉතා තදින් ඇති ලෝකයක. එහි ප්රති As ලයක් ලෙස නවීන අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් සඳහා වැඩිම සංශුද්ධතාවය සහිත ක්රියාවලිය වායූන් අවශ්ය වේ.
WOFLY යනු ගෑස් යෙදුම් පද්ධති ඉංජිනේරු විද්යාව පිළිබඳ විශේෂ izing තාවයක්: ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ ගෑස් පද්ධතිය, කාර්මික මධ්යගත ගෑස් සැපයුම් පද්ධතිය, ඉහළ පිරිසිදු කිරීමේ වායුව, උපකරණ, පූර්ව සංරචක, පූර්ව සංරචක, ස්ථාපනය කිරීම, පූර්ව සංරචක, ස්ථාපනය කිරීම සහ ඉදිකිරීම. වෙබ් අඩවිය, සමස්ත පද්ධති පරීක්ෂණ, නඩත්තු කිරීම සහ වෙනත් ආධාරක නිෂ්පාදන ඒකාබද්ධ ආකාරයකින්.
පශ්චාත් කාලය: ජුලි -11-2023