අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ගෑස් නල තාක්ෂණය අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ගෑස් සැපයුම් පද්ධතියේ වැදගත් අංගයක් වන අතර, අවශ්ය අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායුව භාවිත ස්ථානයට ලබා දීමේ ප්‍රධාන තාක්ෂණය වන අතර එය තවමත් සුදුසුකම් ලත් ගුණාත්මකභාවය පවත්වා ගෙන යයි;ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල තාක්ෂණයට පද්ධතියේ නිවැරදි සැලසුම, සවිකෘත සහ උපාංග තෝරාගැනීම, ඉදිකිරීම් සහ ස්ථාපනය සහ පරීක්ෂණ ඇතුළත් වේ.මෑත වසරවලදී, මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ මගින් නියෝජනය වන ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික් නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනයේදී ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ වායූන්ගේ සංශුද්ධතාවය සහ අපිරිසිදුකම පිළිබඳ වඩ වඩාත් දැඩි අවශ්‍යතා ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ වායූන්ගේ නල තාක්ෂණය වඩ වඩාත් සැලකිලිමත් වී අවධාරණය කර ඇත.පහත දැක්වෙන්නේ ද්රව්ය තෝරා ගැනීමෙන් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග පිළිබඳ කෙටි දළ විශ්ලේෂණයකිof ඉදිකිරීම්, මෙන්ම පිළිගැනීම සහ දෛනික කළමනාකරණය.
පොදු වායු වර්ග
ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ පොදු වායු වර්ගීකරණය：
පොදු වායු(තොග ගෑස්): හයිඩ්රජන් (එච්2), නයිට්‍රජන් (එන්2), ඔක්සිජන් (O2), ආගන් (ඒ2), ආදිය.
විශේෂිත වායුSiH වේ4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,එච්.සී.එල්,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,එච්.එෆ්,HBR SF6…… යනාදිය
විශේෂ වායු වර්ග සාමාන්යයෙන් විඛාදන ලෙස වර්ග කළ හැකගෑස්, විෂ සහිතගෑස්, දැවෙනසුළුගෑස්, දහනය කළ හැකිගෑස්, උදාසීනගෑස්, ආදිය. බහුලව භාවිතා වන අර්ධ සන්නායක වායු සාමාන්යයෙන් පහත පරිදි වර්ගීකරණය කර ඇත.
(i) විඛාදන / විෂ සහිතගෑස්: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BC3…ආදිය
(ii) ගිනිගැනීමේ හැකියාවගෑස්: එච්2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, බී2H6, CH2F2,CH3F, CO... etc.
(iii) දහනය කිරීමේ හැකියාවගෑස්: ඕ2, Cl2, එන්2O, NF3… ආදිය
(iv) නිෂ්ක්රියගෑස්: එන්2, CF4, සී2F6, සී4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He... etc.
බොහෝ අර්ධ සන්නායක වායු මිනිස් සිරුරට හානිකර වේ.විශේෂයෙන්ම, මෙම වායු සමහරක්, SiH වැනි4 ස්වයංසිද්ධ දහනය, කාන්දුවක් වාතයේ ඔක්සිජන් සමඟ ප්‍රචණ්ඩ ලෙස ප්‍රතික්‍රියා කර පිළිස්සීමට පටන් ගන්නා තාක් කල්;සහ AsH3ඉතා විෂ සහිත, ඕනෑම සුළු කාන්දුවක් මිනිස් ජීවිත අවදානමට හේතු විය හැක, එය මෙම පැහැදිලි අන්තරායන් නිසා ය, එබැවින් පද්ධති සැලසුමේ ආරක්ෂාව සඳහා වන අවශ්‍යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය.
වායූන්ගේ යෙදුම් විෂය පථය
නවීන කර්මාන්තයේ වැදගත් මූලික අමුද්‍රව්‍යයක් ලෙස ගෑස් නිෂ්පාදන බහුලව භාවිතා වන අතර ලෝහ, වානේ, ඛනිජ තෙල්, රසායනික කර්මාන්තය, යන්ත්‍රෝපකරණ, ඉලෙක්ට්රොනික, වීදුරු, පිඟන් මැටි, ගොඩනැගිලි ද්රව්ය, ඉදිකිරීම් සඳහා පොදු වායූන් හෝ විශේෂ වායූන් විශාල ප්රමාණයක් භාවිතා වේ. , ආහාර සැකසීම, ඖෂධ සහ වෛද්‍ය අංශ.විශේෂයෙන් මෙම ක්ෂේත්‍රවල ඉහළ තාක්ෂණයට ගෑස් යෙදීම වැදගත් බලපෑමක් ඇති කරන අතර එහි අත්යවශ්ය අමුද්‍රව්‍ය වායුව හෝ ක්‍රියාවලි වායුව වේ.විවිධ නව කාර්මික අංශවල සහ නවීන විද්‍යාවේ හා තාක්ෂණයේ අවශ්‍යතා සහ ප්‍රවර්ධනය සමඟ පමණක්, ගෑස් කර්මාන්ත නිෂ්පාදන විවිධත්වය, ගුණාත්මකභාවය සහ ප්රමාණය අනුව වේගයෙන් සංවර්ධනය කළ හැකිය.
ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගෑස් යෙදීම
අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලියේදී ගෑස් භාවිතය සෑම විටම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කර ඇත, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය සම්ප්‍රදායික ULSI, TFT-LCD සිට වර්තමාන ක්ෂුද්‍ර-විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික (MEMS) කර්මාන්තය දක්වා විවිධ කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. නිෂ්පාදනවල නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය ලෙස ඊනියා අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය භාවිතා කරයි.වායුවේ සංශුද්ධතාවය සංරචකවල කාර්ය සාධනය සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි තීරනාත්මක බලපෑමක් ඇති කරන අතර ගෑස් සැපයුමේ ආරක්ෂාව කාර්ය මණ්ඩලයේ සෞඛ්‍යය සහ ශාක මෙහෙයුම් වල ආරක්ෂාව සම්බන්ධ වේ.
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායු ප්රවාහනයේ දී ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නල මාර්ගයේ වැදගත්කම
මල නොබැඳෙන වානේ උණු කිරීම සහ ද්රව්ය සෑදීමේ ක්රියාවලියේදී, ටොන් එකකට වායුව ග්රෑම් 200 ක් පමණ අවශෝෂණය කරගත හැකිය.මල නොබැඳෙන වානේ සැකසීමෙන් පසු, විවිධ දූෂක සමග එහි මතුපිට ඇලෙන සුළු පමණක් නොව, එහි ලෝහ දැලිස් තුළ ද යම් ප්රමාණයක වායුවක් අවශෝෂණය කර ඇත.නල මාර්ගයෙන් වාතය ගලා යන විට, ලෝහය වායුවේ මෙම කොටස අවශෝෂණය කර පිරිසිදු වායුව දූෂණය කරමින් වායු ප්රවාහයට නැවත ඇතුල් වේ.නලයේ වායු ප්‍රවාහය අඛණ්ඩව ගලා යන විට, නළය පීඩනය යටතේ වායුව අවශෝෂණය කරන අතර, වායු ප්‍රවාහය ගමන් කිරීම නතර වූ විට, නළය මගින් අවශෝෂණය කරන ලද වායුව නිරාකරණය කිරීමට පීඩන පහත වැටීමක් සාදන අතර, නිරාකරණය වූ වායුව නලයේ ඇති පිරිසිදු වායුවට ද ඇතුළු වේ. අපිරිසිදු ලෙස.ඒ සමගම, අවශෝෂණය සහ විභේදනය නැවත නැවතත් සිදු වන අතර, එම නලයේ අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයේ ඇති ලෝහය ද යම් කුඩු ප්රමාණයක් නිපදවන අතර, මෙම ලෝහ දූවිලි අංශු ද නලය තුළ ඇති පිරිසිදු වායුව දූෂණය කරයි.ප්රවාහනය කරන ලද වායුවේ සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම සඳහා නලයේ මෙම ලක්ෂණය අත්යවශ්ය වන අතර, නලයේ අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයේ ඉතා ඉහළ සුමටතාවයක් පමණක් නොව, ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් අවශ්ය වේ.
ශක්තිමත් විඛාදන කාර්ය සාධනයක් සහිත වායුව භාවිතා කරන විට, නල මාර්ග සඳහා විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප භාවිතා කළ යුතුය.එසේ නොමැති නම්, නළය විඛාදනයට ලක්වීම නිසා අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයේ විඛාදන ලප නිපදවනු ඇත, බරපතල අවස්ථාවන්හිදී, ලෝහ ඉරීම හෝ සිදුරු කිරීම පවා විශාල ප්රදේශයක් වනු ඇත, එය බෙදා හැරීමට පිරිසිදු වායුව දූෂණය කරනු ඇත.
විශාල ප්රවාහ අනුපාතවල ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ ඉහළ පිරිසිදුකම ගෑස් සම්ප්රේෂණය සහ බෙදා හැරීමේ නල මාර්ග සම්බන්ධ කිරීම.
මූලධර්මය අනුව, ඒවා සියල්ලම වෑල්ඩින් කර ඇති අතර, භාවිතා කරන ලද නල වෑල්ඩින් යොදන විට සංවිධානයේ වෙනසක් නොමැති වීම අවශ්ය වේ.අධික කාබන් අන්තර්ගතයක් සහිත ද්රව්ය වෑල්ඩින් කරන විට වෑල්ඩින් කරන ලද කොටස්වල වායු පාරගම්යතාවට යටත් වන අතර එමඟින් පයිප්පයේ ඇතුළත සහ පිටත වායූන් අන්‍යෝන්‍ය වශයෙන් විනිවිද යාමක් සිදු වන අතර සම්ප්රේෂණය වන වායුවේ සංශුද්ධතාවය, වියලි බව සහ පිරිසිදුකම විනාශ කරයි. අපගේ සියලු උත්සාහයන්.
සාරාංශයක් ලෙස, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායුව සහ විශේෂ වායු සම්ප්‍රේෂණ නල මාර්ගයක් සඳහා, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නල පද්ධතියක් (පයිප්ප, සවිකෘත, කපාට, VMB, VMP ඇතුළුව) සෑදීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප විශේෂ ප්‍රතිකාරයක් භාවිතා කිරීම අවශ්ය වේ. අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ගෑස් බෙදා හැරීම වැදගත් මෙහෙවරක් ඉටු කරයි.
සම්ප්රේෂණය සහ බෙදාහැරීමේ නල මාර්ග සඳහා පිරිසිදු තාක්ෂණය පිළිබඳ පොදු සංකල්පය
පයිප්ප සමඟ ඉතා පිරිසිදු හා පිරිසිදු වායු ශරීර සම්ප්රේෂණය යනු ප්රවාහනය කළ යුතු වායුවේ අංශ තුනක් සඳහා යම් අවශ්‍යතා හෝ පාලනයන් පවතින බවයි.
වායු සංශුද්ධතාවය: gGas සංශුද්ධතාවයේ අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගතය: වායුවේ ඇති අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගතය, සාමාන්යයෙන් වායු සංශුද්ධතාවයේ ප්‍රතිශතයක් ලෙස 99.9999% ලෙස ප්‍රකාශ වේ, අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගත ppm, ppb, පරිමාව අනුපාතය ලෙසද ප්‍රකාශ වේ. ppt.
වියළි බව: වායුවේ ඇති තෙතමන ප්රමාණය හෝ තෙත් බව නම් ප්රමාණය, සාමාන්යයෙන් වායුගෝලීය පීඩන පිනි ලක්ෂ්‍යය -70 වැනි පිනි ලක්ෂ්‍යය අනුව ප්‍රකාශ වේ.සී.
පිරිසිදුකම: වායුවේ අඩංගු දූෂිත අංශු සංඛ්‍යාව, අංශු ප්රමාණය µm, සම්පීඩිත වාතය සඳහා අංශු/M3 ප්‍රකාශ කළ යුතු ප්රමාණය, සාමාන්යයෙන් තෙල් අන්තර්ගතය ආවරණය වන නොවැළැක්විය හැකි ඝන අපද්‍රව්‍ය කොපමණ mg/m3 ප්‍රමාණයකින් ද ප්‍රකාශ වේ. .
දූෂක ප්රමාණය වර්ගීකරණය: දූෂක අංශු, ප්‍රධාන වශයෙන් එහි අංශු ප්‍රමාණයේ ප්රමාණය අනුව නල මාර්ග සෙවීම, ඇඳීම, ලෝහ අංශු, වායුගෝලීය සබන් අංශු, මෙන්ම ක්ෂුද්‍ර ජීවීන්, ෆේජ් සහ තෙතමනය සහිත වායු ඝනීභවන ජල බිඳිති මගින් ජනනය කරන ලද විඛාදනයට යොමු වේ. ලෙස බෙදා ඇත
a) විශාල අංශු - 5μm ට වැඩි අංශු ප්රමාණය
b) අංශු - 0.1μm-5μm අතර ද්රව්ය විෂ්කම්භය
c) Ultra-micro particles - අංශු ප්රමාණය 0.1μm ට අඩු.
මෙම තාක්ෂණයේ යෙදීම් වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා, අංශු ප්රමාණය සහ μm ඒකක පිළිබඳ සංජානනීය අවබෝධය සඳහා, යොමු කිරීම සඳහා නිශ්චිත අංශු තත්ව කට්ටලයක් සපයනු ලැබේ.
පහත දැක්වෙන්නේ විශේෂිත අංශුවල සංසන්දනයකි
| නම / අංශු විශාලත්වය (µm) | නම / අංශු විශාලත්වය (µm) | නම/ අංශු ප්රමාණය (µm) |
| වෛරස් 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdrople 1-12 |
| න්යෂ්ටික ඉන්ධන 0.01-0.1 | තීන්ත 0.1-6 | ෆ්ලයි අළු 1-200 |
| කාබන් කළු 0.01-0.3 | කිරිපිටි 0.1-10 | පළිබෝධනාශක 5-10 |
| ෙරසින් 0.01-1 | බැක්ටීරියා 0.3-30 | සිමෙන්ති දූවිලි 5-100 |
| සිගරට් දුම 0.01-1 | වැලි දූවිලි 0.5-5 | පරාග 10-15 |
| සිලිකන් 0.02-0.1 | පළිබෝධනාශක 0.5-10 | මිනිස් හිසකෙස් 50-120 |
| ස්ඵටික කළ ලුණු 0.03-0.5 | සාන්ද්ර සල්ෆර් දූවිලි 1-11 | මුහුදු වැලි 100-1200 |
පසු කාලය: ජූනි-14-2022