ඉහළ සංශුද්ධරන ගෑස් නල තාක්ෂණය ඉහළ සංශුද්ධවීමේ ගෑස් සැපයුම් පද්ධතියේ වැදගත් අංගයක් වන අතර එය අවශ්ය අධි සංශුද්ධතා වායුව භාවිතයට ගෙන ඇති අතර තවමත් සුදුසුකම් ලත් ගුණාත්මකභාවය පවත්වාගෙන යාම; ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ ගෑස් නල තාක්ෂණයට පද්ධතියේ නිවැරදි සැලසුම, සවිකෘත සහ උපාංග, ඉදිකිරීම් සහ උපාංග, ඉදිකිරීම් සහ ස්ථාපනය සහ පරීක්ෂණ ඇතුළත් වේ. මෑත වසරවලදී, මහා පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ විසින් නිරූපණය කරන ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රෝන නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනයේ දී ඉහළ පාරිර්ණම වායූන්ගේ පාරිශුද්ධ හා අපිරිසිදු අන්තර්ගතය කෙරෙහි වැඩි වැඩියෙන් දැඩි අවශ්යතා ඇති කර තිබේ. පහත දැක්වෙන්නේ ද්රව්යමය තේරීමෙන් ඉහළ සංශුද්ධවීමේ වායුව නල පිළිබඳ කෙටි දළ විශ්ලේෂණයකිof ඉදිකිරීම් මෙන්ම පිළිගැනීම සහ දෛනික කළමනාකරණය.
පොදු වායූන් වර්ග
ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ පොදු වායු වර්ගීකරණය:
පොදු වායූන්(තොග වායුව): හයිඩ්රජන් (එච්2), නයිට්රජන් (n2), ඔක්සිජන් (ඕ2), ආගන් (අ2), ආදිය.
විශේෂ වායූන්sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, BCl3 ,Sif4 ,Clf3 ,CO,C2F6, N2o,F2,Hf,HBR SF6..... ආදිය.
විශේෂ වායූන් වර්ග සාමාන්යයෙන් විඛාදන ලෙස වර්ගීකරණය කළ හැකියවායුව, විෂ සහිතවායුව, දැවිල්ලවායුව, දහනය කළ හැකිවායුව, නිෂ්ක්රීයවායුව, ආදිය පොදුවේ භාවිතා වන අර්ධ සන්නායක වායූන් සාමාන්යයෙන් පහත පරිදි වර්ගීකරණය කර ඇත.
(i) විඛාදන / විෂ සහිතවායුව: Hcl, bf3, ඩබ්ලිව්.එෆ්6, Hbr, sih2Cl2, එන්එච්3, Ph ph3, Cl2, බී.සී.එල්3... ආදිය.
(ii) දැවිල්ලවායුව: H2, සීඑච්4, සී4, Ph ph3, අෂ් 3, සී2Cl2, ආ2H6, Ch2f2,Ch3F, co ... ආදිය.
(iii) දහනයවායුව: O2, Cl2, එන්2ඕ, එන්එෆ්3... ආදිය.
(iv) නිෂ්ක්රීයවායුව: N2, සීඑෆ්4, ඇ2F6, ඇ4F8,Sf6, CO2, නෙ, කේආර්, ඔහු ... ආදිය.
අර්ධ සන්නායක වායූන් මිනිස් සිරුරට හානිකර ය. විශේෂයෙන්, මෙම වායූන් සමහරක් සීඑච්. වැනි4 වාතයේ ඇති ඔක්සිජන් සමඟ කාන්දුවක් ප්රචණ්ඩ ලෙස ප්රතික්රියා කර පුළුස්සා දැමීමට පටන් ගන්නා තාක් දුරට ස්වයංසිද්ධ දහනය; සහ අළු3අධික විෂ සහිත, ඕනෑම සුළු කාන්දුවක් මිනිස් ජීවිතයේ අවදානමට හේතු විය හැක, එයට හේතුව මෙම පැහැදිලි අන්තරායන් නිසා, එබැවින් පද්ධති නිර්මාණයේ ආරක්ෂාව සඳහා වන අවශ්යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය.
යෙදුම් විෂය පථය වායූන්
නවීන කර්මාන්තයේ වැදගත් මූලික අමුද්රව්යයක් ලෙස, ගෑස් නිෂ්පාදන බහුලව භාවිතා වන අතර, සාමාන්ය වායු නිෂ්පාදන විශාල වශයෙන් භාවිතා වේ. මෙට්ලරි, වානේ, පෙට්රෝලියම්, යන්ත්රෝපකරණ, ගොඩනැගිලි ද්රව්ය, manage ෂධ සහ වෛද්ය යන අංශවල. ගෑස් යෙදීම විශේෂයෙන් මෙම ක්ෂේත්රවල ඉහළ තාක්ෂණයට වැදගත් බලපෑමක් ඇති කරන අතර එහි අත්යවශ්ය අමුද්රව්ය ගෑස් හෝ ක්රියාවලි වායුව වේ. විවිධ නව කාර්මික අංශ හා නවීන විද්යා හා තාක්ෂණ අවශ්යතා හා නවීන විද්යා හා තාක්ෂණ අවශ්යතා හා නවීන විද්යා හා තාක්ෂණ අවශ්යතා සපුරාලීමත් සමඟ විවිධ, ගුණාත්මකභාවය සහ ප්රමාණය අනුව ගෑස් කර්මාන්ත නිෂ්පාදන සකස් කළ හැකිය.
ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රෝන හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ගෑස් අයදුම්පත
සාම්ප්රදායික උල්සි, ටීඑෆ්සී-විද්යුත් යාන්ත්රික (MEMS) කර්මාන්තයේ සිට ගෑස් භාවිතය සෑම විටම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කර ඇත, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය, වර්තමාන ක්ෂුද්ර-විද්යුත්-යාන්ත්රික (MEMS) කර්මාන්තයේ සිට, නිෂ්පාදනවල නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය ලෙස ඊනියා අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය භාවිතා කරයි. වායුවේ සංශුද්ධතාවය සංරචක සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්නෙහි ක්රියාකාරිත්වය කෙරෙහි තීරණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරන අතර ගෑස් සැපයුමේ ආරක්ෂාව පිරිස්වල සෞඛ්යයට හා ශාක මෙහෙයුම්වල සෞඛ්යයට සම්බන්ධ වේ.
ඉහළ සංශුද්ධවීමේ වායු ප්රවාහනයේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ වැදගත්කම
මල නොබැඳෙන වානේ දියවීම සහ ද්රව්ය සෑදීමේ ක්රියාවලියේදී, වායුව ග්රෑම් 200 ක් පමණ ටොන් එකකට අන්තර්ග්රහණය කළ හැකිය. මල නොබැඳෙන වානේ සැකසීමෙන් පසුව, විවිධ අපවිත්ර ද්රව්ය සහිත මතුපිට ඇලෙන සුළු පමණක් නොව, එහි ලෝහ දැලිස් තුළ ද යම් වායුවක් අවශෝෂණය කර ගනී. නල මාර්ගය හරහා වායු ප්රවාහයක් ඇති විට, ලෝහය අවශෝෂණය කරගන්නේ වායුවේ මෙම කොටස වායු ප්රවාහයට ඇතුළු වන අතර පිරිසිදු වායුව දූෂණය කරනු ඇත. නලයේ වායු ගලනය යනු අඛණ්ඩව ප්රවාහය, නළය adsorbs පීඩනය යටතේ ඇති වායුව, නළය මගින් ඇති වන වායුව නිරාකරණය වන විට, අපද්රව්ය නළයේ පිරිසිදු වායුව ද අපද්රව්ය ලෙස ද ඇතුල් වේ. ඒ අතරම, ADSROTIVE සහ විභේදනය පුනරාවර්තනය වන බැවින් නලයේ අභ්යන්තර පෘෂ් at යේ ඇති ලෝහය නිශ්චිත කුඩු ද ඇති වන අතර, මෙම ලෝහ දූවිලි අංශු ද නලයේ ඇතුළත පිරිසිදු වායුව දූෂණය කරයි. නලයේ ඇති මෙම ලක්ෂණය අත්යවශ්ය වන්නේ ප්රවාහනය කළ වායුවේ සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම සඳහා වන අතර එමඟින් නලයේ අභ්යන්තර පෘෂ් of යේ ඉතා සිනිඳු බවක් පමණක් නොව ඉහළ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ද අවශ්ය වේ.
ශක්තිමත් විඛාදන රංගනය සහිත වායුව භාවිතා කරන විට, විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප පයිප්ප සඳහා භාවිතා කළ යුතුය. එසේ නොවුවහොත්, විඛාදනය වීම නිසා නල මාර්ග අභ්යන්තර පෘෂ් on ය මත විඛාදන ලප නිපදවනු ඇත, බරපතල අවස්ථාවන්හිදී, ලෝහ පච්ච කොටා ගැනීමේ හෝ දඩබ්බ ප්රදේශවල විශාල ප්රදේශයක් බෙදා හරිනු ඇත, එය පිරිසිදු වායුව බෙදා හරිනු ඇත.
ඉහළ සංශුද්ධතාවක් සහ ඉහළ පිරිසිදු කිරීමේ වායු ගෑස් සම්ප්රේෂණය සහ බෙදා හැරීම විශාල ප්රවාහ අනුපාතයන්ගේ සම්බන්ධතාවය.
ප්රතිපත්තිමය වශයෙන්, ඔවුන් සියල්ලන්ම වෑල්ඩින් කර ඇති අතර, භාවිතා කරන නල වෑල්ඩින් යොදන විට සංවිධානයේ කිසිදු වෙනසක් අවශ්ය නොවේ. ඉතා ඉහළ මට්ටමක ඇති ද්රව්ය කිනිතුල්ලන් තුළ වෙල්ඩින් කොටස්වල වායු පාරගම්යතාවයට යටත් වන අතර එමඟින් සම්ප්රේෂණය වූ වායුවේ අන්යෝන්ය, වියළීම, වියලි, පිරිසිදුකම සහ පිරිසිදුකම නිසා අපගේ සියලු උත්සාහයන් අහෝසි කරයි.
සාරාංශයක් ලෙස, ඉහළ සංශුද්ධතා ගෑස් සම්ප්රේෂණ නල මාර්ගයක් සඳහා, ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ පයිප්ප පද්ධතියක් (පයිප්ප, සවිකිරීම්, කපාට, වීඑම්පී, වීම් ඇතුළුව) ඉහළ සංශුද්ධතා වායු බෙදාහැරීමේ විශේෂ මෙහෙයුමක් සිදු වේ.
සම්ප්රේෂණය හා බෙදා හැරීමේ නල මාර්ග සඳහා පිරිසිදු තාක්ෂණය පිළිබඳ පොදු සංකල්පය
පයිප්ප සමඟ ඉතා පිරිසිදු හා පිරිසිදු ගෑස් ශරීර සම්ප්රේෂණය යනු ගෑස් හි අංශ තුනක් සඳහා යම් යම් අවශ්යතා හෝ පාලනයන් ඇති බවයි.
ගෑස් සංශුද්ධතාවය: GGAS සංශුද්ධතාවයේ අපිරිසිදු වාතාවරණයේ අන්තර්ගතය: සාමාන්යයෙන් 99.9999% ක් වැනි ගෑස් සංශුද්ධතාවයේ ප්රතිශතයක් ලෙස ප්රකාශ වේ.
වියළි බව: වායුවේ තෙතමනය හෝ වායුව වන තෙතමනය සහිත ප්රමාණය, සාමාන්යයෙන් වායුගෝලීය පීඩන පිනි පොයින්ට් -70 වැනි පිනි ලක්ෂ්යය අනුව. ඇ.
පිරිසිදුකම: වායුවේ අඩංගු අපවිත්ර අංශු ගණන, අංශු ප්රමාණය μmm, ප්රකාශ කිරීම, සම්පීඩිත වාතය ප්රකාශ කිරීම, සාමාන්යයෙන් එය තෙල් අන්තර්ගතය ආවරණය වන පරිදි නොවැළැක්විය හැකි solid න අපද්රව්ය වලින් මිලියනයක් / m3 ක් ලෙස ප්රකාශ වී තිබේද?
දූෂක ප්රමාණයේ වර්ගීකරණය: දූෂක අංශු, ප්රධාන වශයෙන් අදහස් කරන්නේ ලෝහ අංශු, වායුගෝලීය සොරොට් බින්දු, අදියර ens නීභවනය ජල ප්රමාණයන්, අගාධනය, තෙතමනය සහිත විෂමයි.
අ) විශාල අංශු - අංශු ප්රමාණය 5μm ට වැඩි
ආ) අංශු - 0.1M-5μM අතර ද්රව්යමය විෂ්කම්භය
ඇ) අල්ට්රා-ක්ෂුද්ර අංශු - අංශු ප්රමාණය 0.1.m ට වඩා අඩුය.
මෙම තාක්ෂණයේ යෙදීම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, අංශු ප්රමාණය හා μm ඒකක පිළිබඳ අවබෝධය ප්රදානය කිරීමට හැකි වන පරිදි, විශේෂිත අංශු තත්වයක් යොමු කිරීම සඳහා සපයනු ලැබේ
පහත දැක්වෙන්නේ විශේෂිත අංශු සංසන්දනයකි
| නම / අංශු ප්රමාණය (μm) | නම / අංශු ප්රමාණය (μm) | නම / අංශු ප්රමාණය (μm) |
| වෛරස් 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | AeroSolized මයික්රොග්රැප්ට් 1-12 |
| න්යෂ්ටික ඉන්ධන 0.01-0.1 | තීන්ත 0.1-6 | අළු 1-200 පියාසර කරන්න |
| කාබන් කළු 0.01-0.3 | කිරිපිටි 0.1-10 | පළිබෝධනාශක 5-10 |
| ෙබ්සින් 0.01-1 | බැක්ටීරියා 0.3-30 | සිමෙන්ති දූවිලි 5-100 |
| සිගරට් දුමාරය 0.01-1 | වැලි දූවිලි 0.5-5 | පරාග 10-15 |
| සිලිකොන් 0.02-0.1 | පළිබෝධනාශක 0.5-10 | මිනිස් හිසකෙස් 50-120 |
| ස් st ටිකරූපී ලුණු 0.03-0.5 | සාන්ද්රිත සල්ෆර් දූවිලි 1-11 | මුහුදු වැලි 100-1200 |
පශ්චාත් කාලය: ජුනි -14-2022